真空镀膜是表面处理技术的一项分支,是指为了减少杂质的干扰,在高度真空环境下,通过物理或化学手段,将金属、非金属或化合物材料(膜材)转换成气态或等离子态,并沉积于玻璃、金属、陶瓷、塑料或有机材料等固体材质(简称基材、基板或基片)表面形成薄膜的过程。
2024/02/28
化学气相沉积(CVD)技术是用来制备高纯、高性能固体薄膜的主要技术,致力于为集成电路、半导体照明、微机电系统、功率半导体、化合物半导体、新能源光伏等领域提供各种类型的CVD设备,满足客户多种制造工艺需求。
2024/01/29
所谓溅射就是用荷能粒子(通常用惰性气体的正离子)去轰击固体(以下称靶材)表面,从而引起靶材表面上的原子(或分子)从其中逸出的一种现象。这一现象是格洛夫(Grove)于1842年在实验研究阴极腐蚀问题时,阴极材料被迁移到真空管壁上而发现的。利用这种溅射方法在基体上沉积薄膜是1877年问世的。但是,利用这种方法沂积薄膜的初期存在着溅射速率低,成膜速度慢,并且必须在装置上设置高压和通人惰性气体等一系列问题。因此,发展缓慢险些被淘汰。只是在化学活性强的贵金属难熔金属、介质以及化合物等材料上得到了少量的应用。
2023/03/15
离子镀膜设备起源于20世纪50年代D.M.Maiox提出的理论,且在当时开始有了对应的实验;直到1971年,Chamber等发表电子束离子镀膜技术;而反应蒸镀(ARE)技术则是在1972年的Bunshah报告所指出,此时产生了TC及TN等超硬质的薄膜类型;同样是在1972年,Smith和Moley在镀膜工艺中采用了空心阴极技术。到了20世纪80年代,我国离子镀终于达到工业应用的水准,相继出现了真空多弧离子镀及电弧放电型离子镀等镀膜工艺。
2023/02/13
半岛网页版,半岛(中国)邀请您参加中国材料大会-7月8-11日广州
作为聚焦于微纳材料(含半导体材料)、微纳制造工艺、微纳装备的研发设计和生产制造的供应商-半岛网页版,半岛(中国)技术(深圳)有限公司(简称:半岛网页版,半岛(中国)),借助中国材料大会这个展示创新技术产品及应用的平台,半岛网页版,半岛(中国)将展出其精心研发的HFCVD热丝化学气相沉积系统解决方案、科研/生产型磁控溅射(PVD真空镀膜)解决方案、分子束外延薄膜生长设备MBE、PECVD等离子体增强化学气相沉积解决方案等。热切期待国内外嘉宾莅临广州白云国际会议中心一期2F62展位,共同探索材料设计制备发展新路径,共谋行业新机遇,携手书写产业高质量发展的崭新篇章。
2024/07/03
半岛网页版,半岛(中国)邀请您参加6月26-28日,SEMI-e 2024深圳国际半导体展齐聚深圳国际会展中心(宝安)
SEMl-e2024第六届深圳国际半导体展将于6月26-28日在深圳国际会展中心(宝安)盛大开幕。作为半导体领域颇具影响力和代表性的行业盛会,本届展会将汇聚800多家展商集中展示芯片设计、晶圆制造与封装、半导体专用设备与零部件、先进材料、第三代半导体/IGBT,汽车半导体为主的半导体产业链,构建半导体产业交流融合的新生态。
2024/06/17
邀请函|2024全国先进涂层与薄膜技术应用发展大会(6.18-19苏州)
半岛网页版,半岛(中国)技术(深圳)有限公司,由哈尔滨工业大学(深圳)与有多年实践经验的工程师团队共同发起创建。公司立足于市场前沿、产业前沿和技术前沿的交叉点,寻求创新引领与可持续发展,解决产业的痛点和国产化难题,争取产业链的自主可控。
2024/06/11
半岛网页版,半岛(中国)携PVD真空镀膜设备亮相昆明ICEO2024
2024 年4 月12-14 日在昆明花之城豪生国际酒店举办第一届新能源与光电技术国际会议(ICEO2024),本次国际会议是新能源与光电领域科研工作者的一次专业盛会,将全面地展示科研工作者们在钙钛矿太阳能电池、有机太阳能电池、薄膜电池、燃料电池、锂/钠电池、发光二极管、发光电化学电池、光电探测器、激光器、传感器、薄膜晶体管等研究领域所取得的最新进展及成果,深入探讨相关研究领域所面临的机遇、挑战及未来的发展方向。届时,半岛网页版,半岛(中国)技术(深圳)有限公司(简称:半岛网页版,半岛(中国))也受主办方邀请亮相本届会议。
2024/03/25
“中国材料大会”是中国材料研究学会的学术年会,是重要的系列品牌会议之一,是中国新材料界学术水平最高、涉及领域最广、前沿动态最新的超万人学术大会,是面向国家重大需求、推动新材料前沿重大突破的高水平品牌大会。 为推动经济社会高质量发展,加快建设科技强国,实现高水平科技自立自强,拟于2024年7月8-11日在广东省广州市举办中国材料大会2024,同期召开第二届世界材料大会。会议涵盖能源材料、环境材料、先进结构材料、功能材料、材料设计制备与评价等5大类主题;同时开设一批特色论坛,包括青年论坛、特色新材料论坛、材料教育论坛、材料期刊论坛等。除此之外,还同期举行国际新材料科研仪器与设备展览会等。
2024/03/18